来源：Institute of LQM 作者：吴沁柯 发布：2026-03-12 点击量：
型号（JEM-ARM300F2）及厂商（日本电子株式会社）
简介: 扫描透射电子显微术（STEM）是一种用于原子级分辨率成像与成分分析的强大技术。其工作原理是将精细的电子束聚焦成微小探针，并在电子透明样品上进行扫描；同时收集各类透射信号，以构建图像或分析图谱。结合能谱仪（EDX）或电子能量损失谱（EELS）使用时，该技术可在纳米尺度上对元素组成及电子结构进行全面表征。
技术参数
- STEM分辨率： 53 pm（300 kV）
- 双球差校正系统
- 最大样品倾斜角（X/Y）： X=±30º；Y=±27º
- STEM探测器： HAADF（高角环形暗场）、BF（明场）、SAAF
- EDS元素分析范围： Be₄ - U₉₂
- EELS： 能量分辨率 ≤ 0.3 eV，支持元素分布Mapping
- FIB： 离子（二次电子）图像分辨率：30 kV下为 4.0 nm（15 kV下为 1.2 nm）
