来源：Institute of LQM 作者：吴沁柯 发布：2026-03-12 点击量：
型号(FX40) 厂家 (Park systems) 位置 (结构表征实验室 1)
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简介: 原子力显微镜（Atomic Force Microscope, AFM）是一类利用微纳探针在样品表面附近进行扫描，通过检测探针与样品之间的物理相互作用，实现材料表面形貌及局域物性分析的扫描探针显微技术。该技术可用于纳米尺度结构表征与多物理场测量。
具体功能
磁力显微镜（Magnetic Force Microscopy, MFM）
导电原子力显微镜（Conductive AFM, C-AFM）
横向力显微镜（Lateral Force Microscopy, LFM）
接触/非接触模式成像（Contact & Non-contact Mapping）
扫描隧道显微镜模式（Scanning Tunneling Microscopy, STM）
纳米加工/纳米光刻（Nanolithography）
开尔文探针力显微镜（Kelvin Probe Force Microscopy, KPFM）
扫描麦克斯韦应力显微镜（Scanning Maxwell Stress Microscopy, SMM）
扫描扩展电阻显微镜（Scanning Spreading Resistance Microscopy, SSRM）
扫描电容显微镜（Scanning Capacitance Microscopy, SCM）
