场发射扫描电子显微镜（FESEM）

• 型号（JSM-IT810），厂家（JEOL），位置（结构表征室1）

    超级用户（向兴），联系方式（18040516270 / 微信：yiyunjin16）

• 简介: 该设备主要用于多种材料的电子显微分析，包括金属、非金属、纳米材料及半导体材料等。在高真空条件下，可获得超高分辨率的二次电子像（SEI）与背散射电子像（BEI），并可结合能谱（EDS）与电子背散射衍射（EBSD）进行成分与晶体结构分析。

• 具体参数：

        二次电子像分辨率：≤0.6 nm（15 kV）；≤1.1 nm（1 kV）

        分析条件下分辨率：≤3.0 nm（15 kV，工作距离10 mm，探针电流5 nA）

        加速电压范围：0.01 – 30 kV

        放大倍率：×10 – 2,000,000

        样品尺寸：最大 ≥170 mm（直径）× 45 mm（高度）（5 mm工作距离条件下）

        EDS探测器有效面积：60 mm²

        EBSD性能：在线解析最高校准速度600 pps，图案分辨率可保持312 × 256像素