X射线衍射仪（XRD）

• 型号（SmartLab，薄膜版，9 kW），厂家（Rigaku），位置（结构表征室1）

    超级用户（向兴），联系方式（18040516270 / 微信：yiyunjin16）

• 简介

  X射线衍射仪（XRD）主要用于晶体及外延材料的高分辨结构分析与表征，可研究半导体单晶材料的晶体质量，以及各类低维半导体异质结构的结构性质。该设备可实时监测分子束外延（MBE）与金属有机化学气相沉积（MOCVD）等外延生长过程，并提供多种结构参数信息以优化材料制备条件。

• 具体参数

            X射线发生器：最大输出功率9 kW；最大管电压45 kV；最大管电流200 mA

            测角仪系统：θ/θ测角仪；最小步进0.0001°（θd、θs）；测角半径300 mm

            光学系统：发散狭缝全自动计算机控制（0.05–7 mm连续可调）；入射与接收端Soller狭缝2.5°

            多功能样品台（欧拉环）：用于薄膜材料测试，配备薄膜反射率、摇摆曲线等分析软件

                        χ轴范围：-4.9°～94.9°（最小步进0.002°）

                        φ轴范围：±360°（最小步进0.005°）

            面内测量系统：支持2θχ扫描及2θχ/φ扫描；配备0.5°面内PSC狭缝

            二维半导体探测器：

                        子探测器数量：>290,000

                        线性范围：2×10¹¹ cps

                        支持0D/1D/2D测量模式（软件可切换）

                        配备荧光抑制模式

                        支持快速倒易空间映射（RSM）测量