来源：Institute of LQM 作者：吴沁柯 发布：2026-03-12 点击量：
型号（Axis Supra+），厂家（Shimadzu），位置（结构表征室3）
超级用户（程正旺），联系方式（18062615897 / 微信：zwcheng0310）
简介
X射线光电子能谱/紫外光电子能谱（XPS/UPS）是一类对材料表面高度敏感的分析技术，通过X射线或紫外光照射样品，测量逸出光电子的动能，从而获得材料表面的元素组成、化学状态以及电子结构等信息。
具体参数
五轴自动样品台系统，支持自动化测量
能量分辨率：
XPS：0.45 eV @ 200 kcps
UPS：1.0 Mcps @ 100 meV
元素成像与Mapping分辨率：1 μm
支持深度剖析（Depth profiling），可施加偏压（Bias voltage）
电荷中和系统（Charge compensation）
双阳极自动切换系统（Automated dual anode）
配备REELS（反射电子能量损失谱）模块
配备ISS（离子散射谱）模块
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