来源：Institute of LQM 作者：吴沁柯 发布：2026-03-12 点击量：
型号（HCP-O-2），厂家（Tianheng），位置（器件实验室5）
超级用户（宋兴娟），联系方式（15536296299 / 微信：juan921217826）
简介:
该设备为六探针测试台系统（6-probe station），用于在可控环境条件下测量材料与器件的电学性质。系统通过高精度探针操控器在真空腔体内与样品表面形成多点电接触，主要用于I–V与C–V特性测试，是半导体器件与低维材料电学表征的重要平台。
具体参数:
极限真空度：≤ 1 × 10⁻⁷ Torr（双级涡轮分子泵系统）
工作温度范围：80 K – 500 K
温度稳定性：±0.5 K
温度分辨率：0.1 K
减振性能：≤ 2 μm（垂直方向）
探针系统：6个DC/RF兼容真空操控探针，定位精度1 μm
样品台功能：电浮地、接地及背栅控制（三同轴接口）
低电流测量能力：≤ 10 fA
测量分辨率：
电流（I）：≤ 10 fA
电容（C）：≤ 10 fF
显微系统：高倍光学显微镜，分辨率≤ 2 μm
激光系统：Thorlabs 4通道激光模块（多波长激光源）
波长范围：450 / 532 / 633 / 785 / 852 / 940 / 1064 / 1310 nm
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