来源：Institute of LQM 作者：宋兴娟 发布：2026-03-12 点击量：
型号（4200SCS），厂家（Keithley Instruments），位置（器件实验室5）
超级用户（宋兴娟），联系方式（15536296299 / 微信：juan921217826）
简介: 该设备为模块化半导体参数分析系统（Semiconductor Device Parameter Analyzer），集成源测量单元（SMU），可同时精确施加电压/电流并测量响应信号，用于半导体器件、材料及工艺的全面电学表征。支持I–V、C–V及脉冲测量，广泛应用于器件物理研究与可靠性分析。
具体参数:
样品台：XYZ三轴精密调节，行程100 mm × 100 mm × 10 mm
显微系统：5× / 10× / 20× / 50× / 100×物镜
成像系统：1200万像素彩色相机
样品吸附：机械泵真空吸附系统
温控范围：室温至400 °C
显示系统：实时显微成像观察样品状态
